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日本KASHIYAMA樫山-進口干式真空泵SDE系列

日本KASHIYAMA樫山干式真空泵簡介:


可靠的真空技術。 各種產品,具有**的威力。

富山工業的產品贏得了半導體和液晶制造等現代領域客戶的高度評價。

這種信任的基礎是多年來積累的真空技術。

特別是,一系列干燥泵是半導體制造工藝的標準,是真空技術的**,在具挑戰性的工藝中表現出高的可靠性,受到客戶的高度評價。

除了干泵外,富山真空技術(如機械增壓泵、真空排氣系統等)產生的產品在各個領域都非常強大。

主要類型

規格/型號 SDE90X SDE120TX SDE200 SDE303X SDE603X SDE1203TX SDE20N12TX SDE30N20 SDE60N20
大排氣速度
[L/min] *1
1,300 1,500 3,300 5,000 10,000 20,000 30,000 50,000 100,000
到達壓力
[Pa] *1
1.3 0.5
電源電壓
(50/60Hz)
3 相 AC200 至 220V
功耗 [kW]*2 1.3 2.8 2.7 1.5 1.6 3.2 3.3 3.7
外觀尺寸 [mm]*3 L 690 930 900 1000 1000 1080
W 370 400 400 450 450 515
H 501 500 905 1000 950 950

*1) N2未**時的值。 *2) 到達運行時的消耗電力概要值。 *3) 包裝尺寸。 有關詳細尺寸,請索取外觀圖。
*有關海外標準,請聯系我們。 此外,規格和型號名稱如有更改,恕不另行通知。
*有關兼容氣體類型,請聯系我們。


排氣性能曲線

排氣性能曲線
*排氣性能曲線因組合而異。


粵公網安備 44030902000469號