98SL振板，KAIJO楷捷カイジョー
KAIJO高頻超聲波清洗機HIMEGASONIC產(chǎn)品簡介:
Si圓片、GaAs的清洗,液晶玻璃及其其他玻璃面罩的清洗,硬盤清洗,石英
振蕩器清洗,薄膜磁頭清洗,脆性材料等的超精密超聲波清洗.
Haimega除去小于45納米時所需的超微粒、如半導體和液晶顯示器.
特點：
振蕩器
●內(nèi)置
自診斷功能(CPU)可以反饋集中控制(RS485,D-NET),輸出的運行狀態(tài),
可以與上位機進行通信交流內(nèi)臟CPU.
●數(shù)字顯示輸出
3位數(shù)字顯示,運行狀態(tài)管理的管理,可以進行高精度始終是可能的.
●較低的判斷功能,
可以執(zhí)行上的上限和下限的報警顯示,狀態(tài)顯示振蕩也有可能是觸點輸出.
●自動跟蹤方法PLL頻率
深種溶液,液體：KAIJO自己PLL的方案,其振蕩頻率為自動優(yōu)化
等(高達70度),有可能 發(fā)生變化的液體的溫度.
●功率MOS FET的高效率振蕩,振蕩的高效率是可能的.
●損傷小,
可控制的精細圖案的*佳狀態(tài),我們應對200/300mm晶圓清洗。
98SL振板，KAIJO楷捷カイジョー
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發(fā)振器配置
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項目
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規(guī)格
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型號名稱
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68101
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78101
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78102
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輸出功率
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600W
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900W
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900W
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工作頻率
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950KHZ
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950KHZ
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750KHZ
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發(fā)振方式
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VCO
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頻率調(diào)整
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自動追尾PLL方式
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工作顯示
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3位七段LED顯示
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遠程控制機構(gòu)
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有
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使用環(huán)境溫度
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0~40℃
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使用環(huán)境濕度
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0~80%
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工作電源
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AC200V 6A
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AC200V 9.5A
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AC200V 9.5A
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外形尺寸
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3200×5200×144
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460×500×143
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460×500×143
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重量
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約17㎏
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約25㎏
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振動板配置
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使用規(guī)格
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6寸晶圓
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8寸晶圓
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12寸晶圓
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振動板規(guī)格
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7857S
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8857S
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98SL
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額定輸入
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300Wx4
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300Wx6
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300Wx16
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頻率
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950kHz
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950kHz
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750kHz
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振動輻射面(mm)
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136x163
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165x215
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275x319
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振動板材質(zhì)
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SU316L
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使用*高溫度
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70℃
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外形尺寸
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185x215x55
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255x305x55
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410x340x65
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固定方式
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螺絲固定
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特點■隔膜
●振動元件是大P. Z.由于振動元件T,有沒有不均勻清洗.
●非常高的功率密度,清潔能力非常出色.(5.4W /約2厘米)的
厚度,因為它是厚
●具有優(yōu)良的機械強度,壽命長,省心,還內(nèi)置了洗滌槽.
●高效率聲幾乎沒有損失.
●少的接縫的裝置,*好的清洗效果可以預期.
●SU304,316,316 L為三種類型的材料是準備就緒
特點■洗滌槽
●商品化的超聲波浴石英振子直接鍵合到石英容器.
相比傳統(tǒng)的雙室超聲波照射(1.2倍以上相比,我們的)強.這是的**技術(shù)Kaijo.
●支持兩種類型的室溫(50℃*高),高溫(80℃*高)是可以使用的液體溫度.
●我們還生產(chǎn)不銹鋼水槽。
98SL振板，KAIJO楷捷カイジョー，**免費咨詢電話：4008-933-365。
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