GTS615_真空排氣氣體過(guò)濾器_TAIYO太陽(yáng)鐵工

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半導(dǎo)體?液晶製造裝置用真空排気ガスフィルター「マルチコレクター」
半導(dǎo)體製造裝置の真空排気系では、生成物質(zhì)により配管が短期間で閉塞、マルチコレクターは、長(zhǎng)期間の安定操業(yè)を可能にしました。
【特長(zhǎng)】
マルチコレクタ?jī)?nèi)で反応生成物を成長(zhǎng)促進(jìn)させます。
捕捉面積の大きなプリーツ狀カートリッジを採(cǎi)用しています。
長(zhǎng)期間メンテナンスフリーを?qū)g現(xiàn)。
カートリッジは、電著効果 を持たせていますので、サブミクロンの粒子も逃しません。
マルチコレクターの後段の配管のメンテナンスは、長(zhǎng)期間不要。
PCVD裝置、エッチング裝置、イオン注入裝置のドライ真空ポンプ前段又は後段に設(shè)置し、真空排気系のトラブルを低減します。
冷卻ユニットを設(shè)置する事により、生成物を強(qiáng)制析出させ、カラムライフを飛躍的に延ばします。
【主な用途】
PCVD裝置の真空、排気ラインのトラブル防止
エッチング裝置の排気側(cè)ラインの配管閉塞防止
液晶製造裝置の排気側(cè)ラインの配管閉塞防止
イオン注入裝置、PCVD裝置の真空ポンプの安定稼動(dòng)
排ガス除害裝置の壽命の安定化
【備考】
テスト機(jī)の貸出しできます。詳細(xì)はお問(wèn)い合わせください。
**免費(fèi)咨詢**：4008-933-365

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