AAMF-C2280SPBR，真空裝置，SHINKO神港精機
產品特點：
本機は、6連式電子銃蒸発源および抵抗加熱蒸発源4対を有し、自公転治具による多量生産が可能です また、抵抗加熱源が回転移動方式のため、真空槽內部の省スペースを実現しております また、基板（ウエハー）を５００℃まで昇溫可能ですので、合金爐に移しかえることなく、合金化が可能です オプションにて、パソコンによるプロセス管理およびデータロギング等も行えるマルチ機能型蒸著裝置です
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粵公網安備 44030902000469號
