STH10311，側(cè)面濺射裝置，SHINKO神港精機(jī)

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STH10311，側(cè)面濺射裝置，SHINKO神港精機(jī)

STH10311，側(cè)面濺射裝置，SHINKO神港精機(jī)

STH10311，側(cè)面濺射裝置，SHINKO神港精機(jī)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

本機(jī)は、Φ200mmカソードを３元備え、ロータリカソードの採用により膜厚分布±5％以下を?qū)g現(xiàn)し、ターゲットの使用効率も向上させました。
またコンパクト化を追求し、小型、省スペースを?qū)g現(xiàn)しました

產(chǎn)品用途：

本裝置は平面基板多量生産用に開発されたバッチ式サイドスパッタリング裝置です。
膜厚分布は、Φ320平面×4枚で±5％以下を?qū)g現(xiàn)致しました。
サイドスパッタの採用によりメンテナンスや基板の脫著作業(yè)を容易にしており、主排気ポンプおよび電源等のあらゆる
機(jī)構(gòu)?機(jī)能を各種選択する事により、お客様のニーズにお応え致します。 

**免費(fèi)咨詢**：4008-933-365

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