SDL5321，盧德鎖式濺射裝置，SHINKO神港精機
產品特點：
本機は、Φ100mmカソードを３元設けているため、多層膜が形成でき Φ250mm內±10％以下の膜厚分布を実現しております。 搬送室および成膜室は常時真空保持されますので、スループットの短縮が可能な、省スペース型ロードロック式スパッタリング裝置です。 タッチパネルの採用により、リアルタイムでプロセス確認が行えます。
產品用途：
本機は、省スペースを実現したロードロック式スパッタリング裝置です。 カセット室に*大Φ２7０のトレーが、標準で12枚セット可能で、連続スパッタリングが行えます。
**免費咨詢**：4008-933-365
粵公網安備 44030902000469號
